아크 발전기 연결 - akeu baljeongi yeongyeol

Abstract

본 발명은 전력을 공급하기 위하여 특히 자유로이 진동하는 AC 발전기에 의해 AC 발전기(5)의 출력 신호(20, 21)를 공급받는 플라즈마 프로세스에서 아크를 탐지하기 위한 방법에 관한 것으로서, AC 발전기의 출력 신호(20, 21) 또는 내부 신호의 시간 응답에 관한 값이 측정되거나 또는 결정되는 것이다. 기준 값은 상기 시간 응답을 고려하여 결정된다. 상기 기준 값은 임계값과 비교되고 아크는 상기 비교의 예정된 결과가 얻어졌을 때 탐지된다.

Description

아크 탐지의 방법{METHOD OF ARC DETECTION}

도 1은 플라즈마 여기 장치의 개략도.

도 2a는 아크가 일어나지 않은 출력 신호 응답도.

도 2b는 아크가 일어날 때의 출력 신호 응답도.

도 3은 플라즈마 여기 장치의 인버터 상세도.

본 발명은 전력을 공급하기 위하여 특히 자유로이 진동하는 AC 발전기에 의해 AC 발전기의 출력 신호를 공급받는 플라즈마 프로세스에서 아크를 탐지하는 방법에 관한 것으로서, 출력 신호와 관련된 AC 발전기의 출력 신호 또는 내부 신호의 시간 응답과 관련된 값을 측정하거나 결정하는 방법이다.

플라즈마 프로세스에서 스퍼터링/음극 스퍼터링을 통한, 예를 들어 유리 표면과 같은 기판의 코팅은, 반응 방법 및 재래식 방법 모두에서, 예를 들어 아키텍처 유리 코팅으로부터 알려져 있다. 이 때문에, 플라즈마는 전류 또는 전압원에 의해 생성되고, 목표물로부터 예를 들어 판유리와 같은 유리 기판에 증착된 물질을 제거한다. 증착하기 전에, 원자는 원하는 코팅대로 반응 프로세스에서 가스 원자 또는 분자에 붙을 수 있다.

MF 발전기는 특히 반응 프로세스에서 자주 사용되고 있고 주로 10에서 500kHz의 주파수에서 작동되고 있다. 소위 자유로이 진동하는 MF 발전기 또는 고정된 주파수를 가진 MF 발전기의 형태로 사용가능하다. 자유로이 진동하는 MF 발전기는 보통 폐쇄 반복 제어 또는 제어되지 않는 DC 전압- 중간 회로 전압-은 주요 전력 공급기의 단상 또는 다상 전압으로부터 생성되는 구조를 가진다. 중간 회로 전압은 변환기 회로(예를 들어 브릿지 회로)를 사용하여 중파(MF) AC 전압(10- 500kHz)으로 전환된다. MF 출력 전력 신호는 진동하도록 여기되는 진동 회로에 연결된다. 변환기는 진동 회로가 공명 주파수에 가깝게 동작하는 방법으로 작동된다. 진동 회로는 직렬 진동 회로 또는 병렬 진동 회로일 수 있다. 직렬 진동 회로는 전압 소스 특성과 함께 출력 전력 신호에 의하여 여기되는 반면, 병렬 회로는 전류 소스 특성과 함께 출력 전력 신호에 의하여 여기된다. 주로 전압 소스 특성을 가지는 중간 회로 전압으로부터 전류 소스 특성을 발생시키기 위하여, 충분히 큰 인덕턴스를 가지는 초크는 변환기와 직렬로 연결된다. MF 전력은 주로 진동 회로의 코일에서 분리되어 코팅 챔버에서 플라즈마를 발생시키기 위한 코팅 시스템의 코팅 챔버에서 두 전극에 연결된다. 분리는 주요부로부터 갈바니 분리를 제공하는 출력 변성기를 통하여 초래될 수 있다. MF 여기 시스템의 전극은 대안적으로 양극과 음극으로서 작동한다. 진동 회로의 공진 주파수는 플라즈마의 임피던스에 의존한다. 변환기가 언제나 공진 주파수에 가깝게 동작하도록 하기 위해서, 변환기의 조절자는 MF 출력 전력 신호의 반 파장의 주기 또는 시간을 모니터링해야만 한다. 변환 기의 다음 전환 시간을 측정함에 따라 주기 또는 반 파장 시간을 알 수 있다. 주기 또는 반 파장의 시간의 변화는 플라즈마 임피던스가 변화했다는 표시이다.

이것은 독일 특허 출원 제 101 54 229호 A1에 도시되어 있다. 플라즈마 임피던스의 폐쇄 루프 제어를 위한 수단을 묘사하는 것으로서, 원하는 주파수 값은 자유로이 진동하는 AC 발전기를 위해 미리 예정되어 있고, 실제 주파수 값은 측정되고 플라즈마 임피던스는 원하는 값과 실제 값 사이의 차이에 영향을 받는다.

특히 반응 프로세스에서 아크는 또한 마이크로 아크라고 불리는 MF 발전기와 함께 일어나고, 그것은 후에 전압 반전이 있으면 종종 자동으로 없어지거나 또는 적어도 몇 번의 기간이 지나면 없어진다. 높은 에너지와 긴 시간의 아크가 또한 일어날 수 있다. 지금까지 모든 아크는 전압 강하에 대한 출력 전압을 검색하거나 전류 증가에 대한 출력 전류를 검색함에 의하여 탐지되었다. 대체 실시예에서, 아크는 각 전극에서 전류들의 차이를 기초로 탐지될 수 있었다. 사용자는 종래의 시스템에서 아크를 탐지하기 위한 제한 값을 설정할 수 있었다. 유효 전류와 전압 값은 탐지에 의해서 측정되었다. 그런 측정 방법에서, 전압 값과 전류 값의 양은 전압 강하에 따라 부호 변환점이 탐지되는 것을 막기 위해 기간 전체 동안을 모두 더해줘야만하기 때문에, 이러한 방법의 아크 탐지는 일반적으로 MF 출력 전압의 반 파장의 시간보다 더 느려야하고 그러므로 40μs보다 길어야한다. MF 발전기가 반도체 생산 프로세스, 특히 평판 디스플레이(FPD)를 생산하기 위하여 사용될 때, 발전기는 반드시 아크가 몇 μs내에서 탐지되어야 한다는 높은 요구를 만족시켜야 한다.

본 발명의 목적은 더 빠른 아크 탐지를 위한 방법 및 장치를 제공하기 위한 것이다.

이 목적은 기준 값은 시간 응답을 고려하여 결정되고, 상기 기준 값은 임계값과 비교되고, 아크는 상기 비교의 예정된 결과가 획득될 때 탐지되는 상기 언급된 형태의 방법으로 얻어질 수 있다. 선행 기술에서, 출력 신호가 모니터링되고, 플라즈마 임피던스 변화가 상기 모니터링으로부터 완결되고, 플라즈마 프로세스가 조절되고, 필요하다면, 본 발명의 방법은 플라즈마 프로세스와 반응 프로세스에서 아크의 빠른 탐지를 허용한다. AC 발전기의 변환기의 출력 신호는 예를 들어 AC 발전기의 출력 진동 회로로부터 공급되는 출력 신호와 관련된 내부 신호로써 사용될 수 있다. 출력 신호 또는 출력 신호와 관련된 내부 신호의 주파수, 기간, 또는 주파수 스펙트럼은 시간 응답에 관련된 값으로써 사용될 수 있다. 이 방법은 극도로 빠른 아크 탐지를 허용한다. 특히 주기 시간의 절반 즉 40μs내에서 아크를 탐지하는 것이 가능하다.

특히 양호한 방법의 변형예에서, 플라즈마 프로세스에의 전력 공급은 특히 아크가 탐지될 때 예정된 시간 주기 동안 방해될 수 있다. 출력 진동 회로에서 잔여 에너지는 소멸될 수 있고 부가적인 에너지가 아크에 공급되지 않는다. 그러므로, 아크는 급격하게 제거되어 플라즈마 챔버에 미치는 손상은 작다. 플라즈마 프로세스에의 전력 공급은 AC 발전기의 변환기의 입력을 형성하거나 또는 그것들을 작은 임피던스와 연결하는 도선을 단락시킴에 의해서 방해될 수 있다. 이것은 중간 회로 전압으로부터 변환기까지의 전류가 예를 들어 그 출력에서 병렬 진동 회로를 가지는 MF 발전기에서 초크를 제공함에 의해 획득하는 것을 제한할 때 가능하다. 대체 실시예에서, 변환기는 적어도 두 다른 전위의 도선을 포함하는 전력 공급 유닛으로부터 전류 경로가 단락되거나 또는 낮은 임피던스와 연결되는 방법으로 연결될 수 있다. 특히 이점이 있는 방법에서, 출력 신호의 반 파장의 시간은 출력 신호 또는 내부 신호의 시간 응답과 연관된 값에 따라 결정된다. 출력 신호의 부호 변환점 탐지는 어쨌든 자유로이 진동하는 MF AC 발전기에서 실현되었다. 부호 변환 점 탐지는 변환기를 조정하는 것이 필요하다. 이 부호 변환점 탐지는 반 파장의 시간 내에서 아크를 탐지하기 위해 이용될 수 있다.

출력 신호 또는 내부 신호의 부호 변환점을 탐지하고 두 부호 변환점 사이에서 일시적인 차이를 결정함에 의해 반 파장의 시간을 결정하는 것이 가능하다. 대체 실시예에서, 반 파장의 시간은 출력 신호의 주기 또는 주파수로부터 결정될 수 있다. 또한 출력 신호의 두 최대값 사이 시간을 결정하는 것이 가능하다. 부호 변환점과 다음 부호 변환점 사이의 시간 간격은 특히 간단한 방법으로 결정될 수 있다. 변환기의 극성은 다음 부호 변환과 일치하게 반전되고, 반 파장의 시간 동안 전에 측정된 시간보다 약간 짧은 시간 후에 극성의 반전이 시작되기 때문에 변환기 회로의 무효 시간을 고려할 수 있다. 동시에, 전압의 실제 부호 변환점은 다시 모니터링되고, 부호 변화점까지의 실제 시간이 다시 결정된다. 느린 임피던스 변화의 경우에, 부호 변환점에서 부호 변환점까지의 주기는 또한 느리게 변한다. 갑작스러운 고려할만한 변화, 주로 한 부호 변환점에서 다음 부호 변환점 사이 시간의 감소 는 플라즈마에서 아크의 안전한 표시이다. 이러한 이유로, 특히 기준 값에 따라 순시 반 파장의 시간을 결정하는 것에 이점이 있다.

대체 실시예에서, 두 반 파장 시간 사이의 차이 또는 관계는 특히 현재 반 파장 시간과 전 반 파장 시간의 기준 값으로서 결정이 될 수 있다. 여러 반 파장 시간들이 결정되면, 주기는 또한 결정될 수 있고 주기에 정규화된 값은 기준 값으로서 결정될 수 있다.

허용된 임피던스 변동이 아크 탐지를 일으키는 것을 막기 위해, 여러 반 파장시간은 기준 값, 특히 전 반 파장 시간의 가중 평균값을 결정하기 위해 고려되어야할 것이다.

상기 방법은 임계값으로서 한 값을 예정하는 간단한 계산을 가지고 특히 간단한 방법으로 수행될 수 있다.

믿을 만한 아크 탐지는 임계값이 플라즈마 프로세스에 의존하여 결정될 때 얻어진다. 그것 때문에 용인될 수 있는 임피던스 변동이 불필요하게 플라즈마 프로세스를 방해하는 아크의 탐지를 일으키는 것을 막는 것이 가능하다.

임계값은 특히 출력 신호 또는 내부 신호의 주기가 결정될 때, 플라즈마 프로세스에 의존하는 간단한 방법에서 조절될 수 있고, 임계값은 주기에 의존하여 결정된다. 자유로이 진동하는 AC 발전기의 경우에, 주파수, 출력 신호의 주기는 플라즈마 프로세스의 임피던스의 측정이다. 그것은 임피던스 변화와 함께 변할 수 있고, 그러므로 아크가 일어날 수 있다. 마지막 결정된 주기는 사용되거나 또는 전 주기의 예정된 숫자로부터 평균한 주기일 수 있다. 출력 신호의 주기는 특히 영구 적으로 탐지될 수 있고 갱신될 수 있다. 또한, 출력 신호 또는 내부 신호의 표준화된 기간을 사용하는 것이 가능할 수 있다. 주기는 탐지된 반 파장 시간의 예정된 숫자로부터 결정될 수 있다.

장치의 관점에서, 본 발명은 특히 플라즈마 프로세스 즉, 플라즈마 챔버의 전극과 연결될 수 있는 자유로이 진동하는 AC 발전기와 함께 플라즈마 여기 장치에 관한 것으로서, 플라즈마 프로세스에는 AC 발전기의 출력 신호 또는 내부 신호의 시간 응답을 모니터링하기 위한 신호 모니터링 수단을 가지고, 기준 값 결정 수단은 상기 신호 모니터링 수단과 비교기에 연결되어 제공되고, 임계값 프리셋 수단(threshold value presetting means)은 또한 비교기에 연결되어 제공되고, 상기 비교기는 특히 AC 발전기에서 셧다운 신호를 발생기는 수단에 연결되거나 또는 수단을 포함하는 것이다. 이 형태의 장치는 플라즈마 프로세스에서 아크의 신속한 탐지와 플라즈마 프로세스에의 전력 공급의 신속한 방해를 허용한다. 시간 응답은 특히 출력 신호 또는 내부 신호의 부호 변환점을 탐지함에 의해 모니터링될 수 있다. 대체 실시예에서, 출력 신호 또는 내부 신호의 주파수 또는 주기 시간은 모니터링될 수 있다. 플라즈마 챔버에의 에너지 공급은 셧다운 신호에 의해 방해될 수 있다.

한 양호한 실시예는 AC 발전기를 개방 루프 조절하기 위한 조절 수단을 제공하는 것으로서, 기준 값 결정 수단과 비교기는 조절 수단 내에 위치할 수 있다.

본 발명의 하나의 이로운 실시예에서, 신호 모니터링 수단은 비교 회로로서 디자인되고, 기준 값 결정 수단은 프로세서 특히 디지털 신호 프로세서로서 디자인된다.

본 발명의 더한 특징과 이점들은 본 발명의 실시예들의 다음 설명, 본 발명의 필수 구성요소들을 상세히 보여주는 도면, 청구항으로부터 나타날 것이다.

각 특징들은 각각 또는 총체적으로 본 발명의 다양한 임의의 조합에서 알려질 수 있다. 본 발명의 양호한 실시예들이 도면에 그림으로 보여지고 도면을 참조하여 더 상세히 설명될 것이다.

도 1은 다상 입력 전압에 주연결부(2)를 통하여 연결될 수 있는 플라즈마 여기 장치(1)를 도시한다. DC 전류 공급기(3)는 그의 출력(4)에서 중간 회로 전압을 발생시키기 위해 주연결(2)부를 통하여 다상 입력 전압에 연결되어 있다. 이를 위해, DC 전류 공급기(3)는 주요 정류기 및 DC/DC 변환기를 포함할 수 있다. 중파(MF) 유닛으로서 디자인된 AC 발전기(5)는 중간 회로 전압을 통해 공급된다. 특히, 인버터(6)는 초크(7,8)를 통해서 중간 회로 전압에 연결된다. AC 전압은 인버터(6)에서 발생된다. AC 전압은 인버터(6)의 출력에서 내부 신호의 형태로 존재한다. 갈바니(Galvanic) 분리는 인버터(6)의 AC 전압을 AC 발전기(5)의 출력(11)에서 출력 신호로 바꾸는 출력 변성기에 의해 실현된다. 출력 변성기(10)의 커패시터(9)와 누설 인덕턴스는 출력 진동 회로를 대표하는 병렬 공진 회로를 생산한다. 출력 신호는 도시되지 않은 플라즈마 챔버에 공급될 수 있다.

내부 및/또는 출력 신호는 신호 모니터링 수단(12, 13)을 통해 탐지될 수 있다. 신호 모니터링 수단(12, 13)은 조절 수단(14)에 연결된다. 조절 수단(14)은 결정된 내부 신호 또는 출력 신호로부터 또는 상기 신호들의 시간 응답과 연관된 신호로부터 기준 값을 결정하기 위한 기준 값 결정 수단(15)을 포함한다. 이 기준 값 은 임계값 예정 수단(17)에 의해 미리 결정된 임계값과 비교기(16)에서 비교된다. 비교기(16)는 상기 비교의 결과에 의존하여 셧다운 신호를 발생하기 위한 수단(18)을 조절한다. 셧다운 신호는 플라즈마 챔버에 에너지 공급을 방해할 수 있다.

도 2a는 AC 발전기(5)의 출력 신호(20)의 응답을 전형적으로 보여준다. 신호 모니터링 수단(13)은 부호 변환점(t1-t4)를 탐지한다. 비교기는 신호 모니터링 수단(13)에서 모니터링된 신호의 각 부호 변환점(t1, t2, t3, t4)과 함께 예를 들어 플랭크(flank) 또는 수준 변화를 발생시킨다. 부호 변환점(t1-t4)로부터 다음 부호 변환점(t1-t4)까지의 시간 거리는 결정된다. 변환기(6)의 극성은 다음 부호 변환점에 대응하여 역전되고, 이전 반 파장에 대해 측정된 시간보다 약간 더 짧은 시간의 간격 후에 변환기(6)의 극성의 역전이 시작되는 이유에 대해 고려한다(예를 들어 시간 t21에서 변환기의 극성의 역전). 동시에, 특히 출력 전압의 출력 신호(20)의 실제 부호 변환점(t1-t4)은 다시 모니터링되고 부호 변환점(t1-t4)은 다시 결정된다. 느린 임피던스 변화의 경우에, 부호 변환점(t1-t4)으로부터 부호 변환점(t1-t4)까지의 시간은 또한 천천히 변한다. 예를 들어 도 2b에서 출력 신호(21)의 t2에서 t31까지와 같은, 갑작스러운 고려할만한 변화, 주로 하나의 부호 변환점과 다음 부호 변환점 사이 시간에서의 감소는 아크가 플라즈마에서 일어난다는 안전한 표시이다. 아크가 탐지되는 것으로부터 시작하는 임계값은 임계값 예정 수단(17)에 의해 조정되거나 예정될 수 있다.

반 파장의 측정된 시간이 임계값과 비교되는 기준 값으로서 사용될 수 있는 것은 명백하다. 대체 실시예에서, 차이 Δt=(t3-t3) - (t2-t1)(도 2a) 또는 Δ t=(t31-t2) - (t2-t1)(도 2b)는 계산될 수 있다. 차이가 예정된 임계값보다 더 커서 0과 다르다면, 이것은 플라즈마에서 아크의 존재를 표시하는 것이다.

기준 값은 또한 주기 시간 T에서 표준화될 수 있다. 주기 시간 T는 아크의 탐지의 결과로서 "허용된" 임피던스 변동을 막기 위해 영구히 계산될 수 있다.

부호 변환점의 디지털 탐지가 비교 회로를 이용하여 매우 쉬워졌고 마이크로 프로세서, 예를 들어 디지털 신호 프로세서의 플랭크(flank)는 매우 쉽고 빠른 방법으로 평가할 수 있기 때문에, 디지털 조절 수단(17)은 아크 탐지와 관련하여 이점이 있다.

도 3은 인버터(6)를 상세하게 도시한다. 인버터(6)는 트랜지스터로써 디자인된 네 가지 스위칭 요소(T1- T4)로 구성된 풀 브릿지(full bridge)를 포함한다. 이 스위칭 요소(T1-T4)는 조절 수단(14)에 의해 조절된다. 플라즈마 챔버 안으로 전력 공급을 중단하기 위한 다른 시나리오가 가능하다. 한편, 스위칭 요소(T1, T3)는 DC 전류 공급기(3)로부터 전류가 단락되기 위해 전도되는 방식으로 연결되거나 또는 단자(30, 31)는 단락되거나 또는 작은 저항과 연결될 수 있다.

한편, 스위칭 요소(T2, T4)는 같은 효과를 얻기 위해 연결될 수 있다.

스위칭 요소(T1, T2 또는 T3, T4) 또는 모든 스위칭 요소(T1-T4)가 전도하는 방식으로 조절될 때, 출력 변성기(10)의 커패시터(9)와 주 인덕턴스(32)로 구성된 출력 진동 회로는 플라즈마 챔버에 전력 공급을 방해하기 위해 단락된다.

전력 공급을 방해하기 위하여, 스위칭 요소(T5)는 단자(30, 31) 사이 또는 변환기(6)의 입력에 배치될 수 있다. 스위칭 요소(T1-T5)는 조절 수단(17), 특히 셧다운 시그널을 발생시키기 위한 수단(18)에 의해 조절될 수 있다.

본 발명의 방법은 플라즈마 프로세스와 반응 프로세스에서 아크의 빠른 탐지를 가능하게 한다. AC 발전기의 변환기의 출력 신호는 예를 들어 AC 발전기의 출력 진동 회로로부터 공급되는 출력 신호와 관련된 내부 신호로써 사용될 수 있다. 출력 신호 또는 출력 신호와 관련된 내부 신호의 주파수, 기간, 또는 주파수 스펙트럼은 시간 응답에 관련된 값으로써 사용될 수 있다. 이 방법은 극도로 빠른 아크 탐지를 가능하게 한다. 특히 주기 시간의 절반 즉 40μs내에서 아크를 탐지하는 것이 가능하다.

Claims (12)

1. 전원 공급용 AC 발전기(5)의 출력 신호(20, 21)가 AC 발전기(5)에 의해 공급되는 플라즈마 프로세스에서 아크를 탐지하는 방법으로서, 출력 신호(20, 21)와 관계가 있는 AC 발전기(5)의 출력 신호(20, 21) 또는 내부 신호의 시간 응답과 연관된 값이 측정되거나 또는 결정되고, 기준 값이 시간 응답을 고려하여 결정되고, 상기 기준 값은 임계값과 비교되고 아크는 상기 비교의 예정된 결과가 얻어졌을 때 탐지되고, 출력 신호(20, 21) 또는 내부 신호의 반 파장의 지속 기간은 출력 신호(20, 21) 또는 내부 신호의 시간 응답과 관계가 있는 값으로서 결정되는 것을 특징으로 하는 아크 탐지 방법.

2. 제1항에 있어서, 아크가 탐지되었을 때, 플라즈마 프로세스에의 전력 공급은 특히 예정된 기간 동안 차단되는 것을 특징으로 하는 것인 아크 탐지 방법.

3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 반 파장의 지속 기간은 출력 신호(20, 21) 또는 내부 신호의 부호 변환점을 탐지하고 두 부호 변환점(t1-t4, t31) 사이의 시간 차이를 결정함에 의하여 결정되는 것을 특징으로 하는 것인 아크 탐지 방법.

4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 현재 반 파장의 지속 기간은 기준 값에 따라 결정되는 것을 특징으로 하는 것인 아크 탐지 방법.

5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 두 반 파장 지속 기간,특히 현재 반 파장 지속 기간과 이전 반 파장 지속 기간 사이의 차이 또는 관계가 기준 값에 따라 결정되는 것을 특징으로 하는 것인 아크 탐지 방법.

6. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 여러 반 파장 지속 기간, 특히, 이전 반 파장 지속 기간의 가급적 가중 평균값이 기준값을 결정할 때 고려되는 것을 특징으로 하는 것인 아크 탐지 방법.

7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 값은 고정적으로 임계값에 따라 예정되는 것을 특징으로 하는 것인 아크 탐지 방법.

8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 임계값은 플라즈마 프로세스에 의존하여 결정되는 것을 특징으로 하는 것인 아크 탐지 방법.

9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 출력 신호(20, 21) 또는 내부 신호의 주기가 결정되고, 상기 임계값은 상기 주기에 의하여 결정되는 것을 특징으로 하는 것인 아크 탐지 방법.

10. AC 발전기(5)의 출력 신호(20, 21) 또는 내부 신호의 시간 응답을 모니터링 하기 위한 신호 모니터링 수단(12, 13)을 플라즈마 프로세스에 연결할 수 있는 AC 발전기(5)를 포함하는 플라즈마 여기 장치(1)로서, 기준 값 결정 수단(15)은 신호 모니터링 수단(12, 13)과 비교기(16)에 연결되어 제공되고, 임계값 프리셋(preset) 수단(17)은 또한 상기 비교기(16)에 연결되어 제공되고, 상기 비교기는 셧다운 신호를 발생시키기 위한 수단(18)에 연결되고, 상기 기준 값 결정 수단(15)은 출력 신호(20, 21) 또는 내부 신호의 반 파장의 지속 기간을 탐지하기에 적합한 것을 특징으로 하는 것인 플라즈마 여기 장치(1).

11. 제10항에 있어서, 조절 수단(17)은 AC 발전기(5)를 조절하기 위해 제공되며, 상기 기준 값 결정 수단(15)과 상기 비교기(16)는 상기 조절 수단(17)에 배치되는 것을 특징으로 하는 것인 플라즈마 여기 장치(1)

12. 제10항 또는 제11항에 있어서, 상기 신호 모니터링 수단(12, 13)은 비교기 회로로서 디자인되고 상기 기준 값 결정 수단(15)은 프로세서, 특히 디지털 신호 프로세서로서 디자인되는 것을 특징으로 하는 것인 플라즈마 여기 장치(1).